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SK하이닉스, 반도체 공정 필수 가스인 '슬롯사이트 소닉 추천' 재활용 기술 개발

슬롯사이트 소닉 추천 가스의 글로벌 수급 불확실성이 커진 상황에서 일궈낸 쾌거다. 슬롯사이트 소닉 추천은 반도체 노광공정에 쓰인다.

  • 기사입력 2024.04.02 09:59
  • 최종수정 2024.04.02 15:59
  • 기자명이세연 기자
슬롯사이트 소닉 추천 재활용 기술 개발을 주도한 SK하이닉스 탄소관리위원회 소재 재활용 분과의 송환욱(왼쪽부터) TL, 송부섭 팀장, 정용준 TL이 소재 재활용 기술 회의를 하고 있다. [사진=SK하이닉스]
슬롯사이트 소닉 추천 재활용 기술 개발을 주도한SK하이닉스 탄소관리위원회 소재 재활용 분과의송환욱(왼쪽부터) TL, 송부섭 팀장, 정용준 TL이 소재 재활용 기술 회의를 하고 있다. [사진=SK하이닉스]

[WHY? 슬롯사이트 소닉 추천은 공기 중에 극소량만 존재하고 또양산이 어려운 물질로,지금까지수입 의존도가 높았다.]

SK하이닉스가 국내 반도체용 특수가스 기업TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 슬롯사이트 소닉 추천 가스 재활용 기술을 개발했다고1일 밝혔다.

최근 국제 정세 불안으로 수입 의존도가 높은슬롯사이트 소닉 추천의 수급 불확실성이 커지자,SK하이닉스는 국내 소부장 기업과 함께 재활용 기술 개발에 나서1년 만에 성과를 이루어 냈다.

앞서SK하이닉스는 지난2월 '재활용 소재 사용 중장기 로드맵'을 발표하고, 재활용 소재 비율을 2025년까지 25%, 2030년까지 30%로 늘리겠다는목표를 밝힌 바 있다.이번 슬롯사이트 소닉 추천 재활용 기술 개발은 이 로드맵을 실현해 가는 의미 있는 성과가 될 것으로 회사는 기대하고 있다.

슬롯사이트 소닉 추천은희귀 가스중 하나로,반도체노광공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser Gas)의 주요 성분이다. 슬롯사이트 소닉 추천은 레이저 광원으로 활용할 때 화학적으로 분해되거나 변형되지 않는다는 특징이 있어, 한 번 사용한 슬롯사이트 소닉 추천은 불순물 제거 등분리 및 정제 과정만 거치면 재활용 가능하다.

SK하이닉스와TEMC는 노광공정 후스크러버를 통해 공기 중에배출된슬롯사이트 소닉 추천 가스를 수집 탱크에 포집하고, TEMC의 가스 처리 과정을 통해 슬롯사이트 소닉 추천만 선택적으로 분리했다.

이렇게 정제된 슬롯사이트 소닉 추천은 다시SK하이닉스로 공급돼반도체 제조 공정에 사용된다.현재 슬롯사이트 소닉 추천 회수율은72.7%에 이른다. SK하이닉스는 앞으로 지속적으로 정제수율을 개선해 슬롯사이트 소닉 추천 회수율을77%까지 높일 계획이다.

슬롯사이트 소닉 추천 재활용 기술이 반도체 팹에 적용될 경우, 연간 약 400억원의슬롯사이트 소닉 추천 구매 비용이 줄어들 것으로 예상된다.또 슬롯사이트 소닉 추천 생산 과정에서 발생하는온실가스 배출량을 1만2000 tCO2e/yr가량 줄이는 효과도 창출할 전망이다.

한편, 슬롯사이트 소닉 추천 재활용 기술 개발을 주도한SK하이닉스 탄소관리위원회의 소재 재활용 분과는 반도체 공정에서 화학적으로 분해 및 변형되지 않는 모든 소재의 재활용을 최종 목표로 삼고 있다. 분과는 2025년까지 슬롯사이트 소닉 추천,중수소, 수소,헬륨등4개 가스 소재와 황산 등 화학 소재를 비롯해 총10개 원자재의 재활용 기술을 개발할 계획이다. 2030년까지는 화학적 변형이 없는 모든 소재에 대한 기술 검토를 완료한다는 것이 회사의 목표이다.


희귀 가스공기 중에 극소량만존재해양산이 어렵고 인공 제조가 불가능한 희소성 높은 산업용 가스로 헬륨, 슬롯사이트 소닉 추천, 아르곤, 크립톤, 제논, 라돈등이 포함된다.

노광공정레이저 등으로 웨이퍼에 반도체 회로를 그리는 공정

스크러버반도체 생산 공정 중 발생하는 가스, 화합물 등을 걸러내고 제거하는 장치

/ 슬롯사이트 소닉 추천 이세연 기자 mvdirector@fortunekorea.co.kr

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